Q150T ES Plus 高真空镀膜仪

Q150T Plus 是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜仪设备，真空度可达 5x10 ^-5 mbar 。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属，适用于高分辨率成像。同样地，低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。

仪器特点：

•   电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用

•   用户界面软件全面更新，使用现代智能技术界面

•   全面的文字帮助页面

•   USB 接口可轻松进行软件更新和数据备份

•   log 文件格式为 .csv ，内含日期、时间和工作参数，可导出至 Excel 或类似软件中分析

•   16GB 的闪存可储存超过 1000 条镀膜方案

•   双核 ARM 处理器，可实现快速响应的显示

•   可互换的插入头；可拆卸腔室，设有防爆罩；多种样品台可选

•   可控斜坡碳棒蒸发；磁控冷溅射；脉冲清洁用于溅射 Al （铝）

•   大而多色的 LED 指示灯，实现可视化状态指示；程序完成后具有音频声音提示

Q150T Plus 具有三种型号：

1 ） Q150T S Plus 全自动溅射镀膜仪，可溅射易氧化金属及贵金属。可溅射的靶材包括铬、铱、钨、 ITO 、铝和其它靶材。

2 ） Q150T E Plus 全自动热蒸发镀碳仪（标配碳棒头，可选碳绳头），适合 SEM 领域的 EDS 和 WDS 应用，以及 TEM 及碳覆型膜应用。可选金属蒸发 / 光阑清洁头。

3 ） Q150T ES Plus 集成了离子溅射和热蒸镀两种镀膜方式的系统。镀膜头可在数秒内更换；可选金属蒸发 / 光阑清洁头。

推荐应用：

•   扫描电镜高分辨率放大应用

•   TEM 应用

•   FIB 中镀保护性铂层

•   腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发

•   医疗设备上的保护层

•   BSE 成像

•   EDX 、 WDS 、 EBSD 分析

•   蒸镀碳覆型膜

Q150T Plus 是英国 Quorum 出品的国际认可的 Q 系列镀膜仪的一部分，全球数千家客户使用此类镀膜仪。 Q 系列旨在为 SEM 、 TEM 和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案， Q 系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品专供科研用途。

对于 SEM 应用的机械泵抽真空的喷金喷碳仪，请参见 SC7620 和 Q150R Plus 。对于 FE-SEM 应用所需的超细颗粒镀膜，建议采用高真空镀膜仪，请参见 Q150V Plus 或 Q150GB ，如需大腔室版本的镀膜系统，请参见： Q300T T Plus 、 Q300T D Plus 、 Q300T ES Plus 和 K975X / K975S 。