Tergeo 系列台式 等离子清洁 仪

 

Tergeo 系列台式全自动等离子清洁仪具有清洁、灰化、刻蚀等功能，可用来清洁纳米级样品，去除光刻胶，清洁晶圆和集成电路键合焊盘，进行煤和有机物的灰化，激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团，获得表面亲水性，提高键合强度和可印刷性，促进医疗器械生物相容性。可集成浸入式和远程式两种等离子源，既可清洁电镜光阑和 TEM 样品杆，也可清洁石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳和 TEM 载网多孔碳膜等脆弱的精细样品。

 

Tergeo 系列 具有三种型号：

1 ） Tergeo   等离子清洁仪 ： 这是一款 经济实用的等离子清洁仪。

2 ） Tergeo-Plus 大腔室等离子清洁仪 ： 这是一款具有大样品室的等离子清洁仪，可清洁宽达 150mm 的样品。

3 ） Tergeo-EM 等离子清洁仪： 用于 TEM 样品 杆 清洁 以及 去除 SEM & TEM 样品的碳氢污染。

仪器特点：

•   Tergeo 系列采用独特设计 ， 能在一个系统中支持两种清洁模式。

Tergeo-EM 标配双等离子源、并且具有清洁 TEM 样品杆的功能；其余两款

标配浸入式等离子源，用于样品表面清洁、蚀刻、灰化，可选远程式等离

子源用于温和的污染清除及脆弱易损样品的表面活化。

•   采用等离子体强度传感器专有技术，实现实时定量测量等离子强度

•   13.56MHz 射频发生器，自动阻抗匹配调谐，双源版本可脉冲工作

•   直观的触摸屏用户界面，可储存 20 条用户 程序， 全自动 运行

•   采用 MFC( 质量流量控制器 ) 调节的气体输送控制

•   高纯石英样品腔室和样品托

推荐应用：

• 集成电路芯片引线键合和封装前的清洁

• 清洁 TEM 和 SEM 样品，去除烃污染

• 亲水性或疏水表面润湿性等离子处理

• 增强环氧树脂 / 胶水粘合强度

•   用于清洁光学、激光、通讯用玻璃和光纤头

• 改善 MEMS 微流体器件的润湿性

• 蚀刻光刻胶

•   剥除被膜，用于失效分析

• 隐形眼镜、医用植入物等类型医疗器械的表面处理和激活

实验结果的 一致性和可重复性对于科研和生产运行 是至关重要的 。因此，

dafa888bet官方下载集成了多种过程控制技术来监测和控制关键参数，如等离子体传感

器、压力传感器和气体输入的自动质量流量控制器。 Tergeo 等离子清洗

机的操作是全自动的。直观的用户界面，加上 7 英寸的触摸屏，使 本系

列 仪器的操作像智能板一样简单。嵌入微控制器支持 20 个可定制的 配方

程序 。 Tergeo 系列等离子体处理系统采用先进的工艺控制技术，可为不

同用户提供重复的日常运行性能。

T ergeo 系列台式 等离子蚀刻和表面清 洁 系统 可用于 研究、开发 等应用 。 TEM 用 户，请 选用 dafa888bet官方下载的 Tergeo-EM 具有清洁 TEM 样品杆功能的 等离子 清洁仪； TEM 和 SEM 及其它用 户 也可查看 EM-KLEEN 远程等离子 清洁 系统。 对于样品杆储存等应用，可选用 多用途样品清洁及储存腔室 。