多用途样品清洁及储存腔室 ——TEM&SEM 样品清洁及贮存方案

 

通过选配外部附件如： EM-KLEEN 远程控制等离子源和 / 或 TEM 样品杆适配器，多用途腔室可配置成不同的应用。 EM-KLEEN 远程等离子体源可以采用空气、氧气或氢气产生氧和氢自由基，用于样品清洁和表面活化。如果腔室配备了 TEM 样品杆适配器，则可接受和清洁来自 Thermo Fisher 、 JEOL 和 Hitachi 的共六个 TEM 样品杆，然后它还可以用作样品杆真空储存站。当然， EM-KLEEN 等离子源也可被取下并安装到 SEM 、 FIB 或 XPS 等真空腔室上。

配置 一

多用途腔室配置 EM-KLEEN 等离子源。

应用： EM-KLEEN 远程等离子源采用室内空气、氧气或氢气作为处理气体产生氧或氢自由基。待清洁样品可从顶部玻璃门装载。 EM-KLEEN 等离子源也可被取出，安装到 SEM 、 FIB 和 XPS 系统真空腔室上进行腔室清洁。

 

配置 二

多用途腔室配置等离子源及 TEM 样品杆适配器。

应用： EM- KLEEN 远程等离子源用于 SEM&TEM 样品清洁。样品可通过顶部玻璃门装载或通过适配器插入 TEM 样品杆。 EM- KLEEN 等离子源也可被取出并安装在 SEM 、 FIB 和 XPS 系统上，用于真空腔室清洁。腔室可用无油涡卷泵或涡轮分子泵工作站抽真空。

 

配置 三

在腔室上安装 TEM 样品杆适配器，可作为样品 & 样品杆真空储存腔室。腔室可由无油涡卷泵或涡轮分子泵工作站抽真空。总共可放置六个 TEM 样品杆。它可放置 JEOL 、 Hitachi 和 Thermo Fisher 的 TEM 样品杆。

 

TEM 样品杆真空储存站

 

 

TEM 样品杆真空泵站可在真空条件下存放最多 6 个 TEM 样品杆，帮助样品和样品杆放气，去除水气凝结，保持样品和样品杆的清洁。也可用于样品杆的检漏。

仪器特点：

•  每台设备共 6 个存储单元。

•  每个存储单元都可以通过电磁阀进行独立的抽放。当取出其中一个样品杆时，其余的单元仍可保持在真空状态下。

•  多个存储系统可以连锁连接，共享一个真空泵。它还可以与 Tergeo-EM 系统共用一个真空泵。

•  可选无油干式涡旋泵或涡轮泵站。

•  真空泵与储存站分开，必要时易于维护和维修。

•  真空管路全金属管设计，可最大限度地减少排气，从而减少污染。

•  略高于室温的稳定的操作温度设计，有利于样品杆更快放气。

 

美国 PIE 等离子清洗仪采用现代先进技术，产品包括： Tergeo 系列台式等离子清洁仪 （ Tergeo 、 Tergeo-Plus 和 Tergeo- EM ）， 远程等离子清洁仪 （ EM-KLEEN 、 SEMI-KLEEN quartz 和 SEMI-KLEEN sapphire ），如需要，请联系dafa888bet官方下载。